Приводятся результаты численного исследования математических моделей микромеханики (MEMS). Математические модели представлены электро-механическими устройствами, в которых подвижный электрод совершает колебания под воздействием электростатического поля в узком зазоре. Рассмотрены устройства с четыремя типами подвижного электрода: недеформируемая платформа на пружине, цилиндрический изгиб натянутой плёнки, упругой балки с закреплёнными концами, упругой балки консольного типа. Найдена область параметров модели, в которой подвижный электрод совершает колебания с периодом импульсного воздействия.