| Автор(ы): | Gorobchuk A.G. |
| Заглавие: | Simulation of surface processes on Silicon in CF4/O2/H2 plasmas |
| Библ. ссылка: | Gorobchuk A.G. Simulation of surface processes on Silicon in CF4/O2/H2 plasmas // 6th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE 2018): Abstracts. - 2018. - Tomsk: TPU Publishing House. - P.296. |
| Год издания: | 2018 |
| Страницы или номер статьи: | с.296 |
| Конференция: | Название: 6th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects Аббревиатура: EFRE2018 Город: Tomsk Страна: Russia Даты проведения: 2018-09-16 - 2018-09-22 |
